ACADSTAFF UGM
| Title | : | Kajian Ellipsometri pada Lapisan Tipis Perak dan Nanopartikel Magnetit |
| Author | : |
Muhammad Arifin, S.Si., M.Sc., Ph.D. (1) Dr. Iman Santoso, S.Si., M.Sc. (4) |
| Date | : | 0 2016 |
| Keyword | : | ellipsometri, polarisasi, indeks bias ellipsometri, polarisasi, indeks bias |
| Abstract | : | Telah dibangun sistem pengamatan optik berbasis ellipsometri dengan panjang gelombang tunggal (laser HeNe, ? = 543 nm). Teknik ellipsometri berdasarkan pada pengukuran perubahan amplitudo (?) dan perubahan fase (?) dari polarisasi cahaya yang dipantulkan. Indek bias (N) material dapat diekstrak dari ? dan ?. Pada lapisan perak, kurva intensitas mengalami perubahan fase gelombang pada variasi sudut datang. Hasil penelitian menunjukkan nilai ? sekitar 45° dan tidak tergantung perubahan sudut datang sedangkan nilai ? pada logam berubah drastis pada kenaikan sudut datang. Indeks bias yang diperoleh pada lapisan perak adalah = 0,1039 + 2,6743i pada sudut datang 75°. Pada lapisan Fe3O4, indeks bias bagian real dan imajiner sebagai fungsi dari ketebalan lapisan dan sudut datang pada sampel. Pada sudut datang 75° dan ketebalan 50 nm diperoleh nilai indeks bias kompleks N = 1,662 + 4,4611i. Sistem ellipsometri dapat memperlihatkan perubahan indeks bias yang sangat kecil pada lapisan tipis Fe3O4. |
| Group of Knowledge | : | |
| Level | : | Nasional |
| Status | : |
Published
|
| No | Title | Action |
|---|---|---|
| 1 |
2016_HFI_-Kajian Ellipsometri pada Lapisan Tipis Perak dan Nanopartikel Magnetit.pdf
Document Type :
|
View |